真空泵
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真空泵是指利用機械、物理、化學或物理化學的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設備。通俗來講，真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產生和維持真空的裝置。
按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分為兩種類型，即氣體捕集泵和氣體傳輸泵。其廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業。
特點：
(1)在較寬的壓力范圍內有較大的抽速;
(2)轉子具有良好的幾何對稱性，故振動小，運轉平穩。轉子間及轉子和殼體間均有間隙，不用潤滑，摩擦損失小，可大大降低驅動功率，從而可實現較高轉速;
(3)泵腔內無需用油密封和潤滑，可減少油蒸氣對真空系統的污染;
(4)泵腔內無壓縮，無排氣閥。結構簡單、緊湊，對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感;
(5)壓縮比較低，對氫氣抽氣效果差;
(6)轉子表面為形狀較為復雜的曲線柱面，加工和檢查比較困難。